SMEE极紫外光刻机也公开了,不在藏着掖着了。除了SMEE之外,近期已经公开露面的还有: 深圳稳顶聚芯发布首台高精度Stepper光刻机,聚焦90nm以上成熟制程,适用于功率器件、MEMS等泛半导体领域。 上海宇量昇研发的国产浸润式深紫外光刻机(DUV),多重曝光下可实现7nm制程。 杭州推出首台国产商业电子束光刻机,精度达 0.6nm,支持量子芯片研发。
“对中国封锁光刻机,最后活不下去的会是西方企业”——荷兰光刻机巨头的这句话,戳
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SMEE极紫外光刻机也公开了,不在藏着掖着了。除了SMEE之外,近期已经公开露面的还有: 深圳稳顶聚芯发布首台高精度Stepper光刻机,聚焦90nm以上成熟制程,适用于功率器件、MEMS等泛半导体领域。 上海宇量昇研发的国产浸润式深紫外光刻机(DUV),多重曝光下可实现7nm制程。 杭州推出首台国产商业电子束光刻机,精度达 0.6nm,支持量子芯片研发。
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铁木真
让我缓缓,这么急躁吗
旭日东升 回复 09-24 01:43
这都是旧闻了 它故意放屁的 压根就没造出来极紫外