深圳暴雨光刻机国产化产业链分类整理:
(微电子若上市,不管借壳还是Ipo,都将对整个产业链有益!国产光刻机未来必然会取代国外的垄断地位,提前整理资料留存!)
1. 光学系统
1.1 光学元件:茂莱光学、腾景科技、炬光科技、晶方科技、苏大维格
1.2 光学镜头:奥普光电、福光股份、波长光电
1.3 透镜系统:赛微电子
1.4 光学制版:京华激光
1.5 光学系统清洗:富乐德、蓝英装备
2. 结构及设备
2.1 结构零部件:富创精密
2.2 光刻净化设备:美埃科技
2.3 显影涂胶设备:芯源微、盛美上海
2.4 电路量测设备:精测电子
2.5 整机:张江高科
2.6 接近式光刻机:大族激光
3. 光源与成像
3.1 光源:福晶科技
3.2 成像光刻:芯碁微装
4. 材料与化学品
4.1 光刻胶:广信材料、奥莱德、南大光电、上海新阳、彤程新材、瑞联新材、鼎龙股份、容大感光、飞凯材料、晶瑞电材、华懋科技、普利特、高盟新材、雅克科技
4.2 引发剂:强力新材、扬帆新材、久日新材
4.3 显影和剥离:格林达
4.4 剥离剂及刻蚀液:盛剑环境、怡达股份
4.5 湿电子化学品:江化微、莱伯泰科
4.6 光刻胶溶剂:百川股份
4.7 除胶剂:安集科技
4.8 其他原材料:康鹏科技、常青科技、同益股份、万润股份
5. 特种材料与气体
5.1 光刻气产品:华特气体、凯美特气
5.2 钨合金产品:安泰科技
5.3 纳米颜料分散液:世名科技
5.4 感光剂:康达新材
5.5 颜料:欢乐家
5.6 残胶收集:捷捷微电
5.7 除胶设备:安达智能
6. 其他
6.1 光触媒:亚威股份
6.2 晶片小型化:惠伦晶体
6.3 光掩膜版:冠石科技