台湾供应链消息,台积电2027年对EUV机台需求将增至30台以上,用于A14工艺的量产,月产能合计可达11万~12万片。
A14并没有采用High-NA EUV光刻机,而是继续使用成熟的0.33 NA EUV,配合多重曝光技术。
台积电是考虑成本和技术成熟度,在光刻机上比较保守。估计High-NA EUV将用到1nm以内的制程上。
台湾供应链消息,台积电2027年对EUV机台需求将增至30台以上,用于A14工艺的量产,月产能合计可达11万~12万片。
A14并没有采用High-NA EUV光刻机,而是继续使用成熟的0.33 NA EUV,配合多重曝光技术。
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