台湾供应链消息，台积电2027年对EUV机台需求将增至30台以上，用于A14工艺

飞荷看科技 2025-10-14 16:49:14

台湾供应链消息，台积电2027年对EUV机台需求将增至30台以上，用于A14工艺的量产，月产能合计可达11万～12万片。

A14并没有采用High-NA EUV光刻机，而是继续使用成熟的0.33 NA EUV，配合多重曝光技术。

台积电是考虑成本和技术成熟度，在光刻机上比较保守。估计High-NA EUV将用到1nm以内的制程上。 ​​​

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