A股：光刻机，概念核心的12家公司梳理(附股)
一、整机集成与核心关联方
1、张江高科 ：
作为上海微电子的重要股东之一，通过投资平台深度绑定国内光刻机整机龙头，是其实现资本化和技术突破的关键生态支持力量。
二、核心子系统与技术研发
2、奥普光电 ：
背靠中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，直接参与光刻机曝光系统、超精密光栅等核心技术的研究与转化，是技术源头的重要产业化平台。
3、电科数字 ：
隶属中国电子科技集团，具备为高端光刻设备提供工业控制系统、数字化解决方案的强大实力，是光刻机“大脑”的潜在国家队供应商。
三、核心光学部件
4、福晶科技 ：
全球非线性光学晶体龙头，其产品是激光系统的核心元件，技术壁垒极高，是光刻机光源模块的潜在关键材料供应商。
5、茂莱光学 ：
深耕精密光学行业，为半导体光刻设备提供透镜、棱镜等精密光学镜头，是光刻机物镜系统供应链上的重要一环。
6、炬光科技 ：
拥有激光光源、光学光束转换等核心技术，产品与光刻机光源产生和调制技术路径高度相关，具备提供子系统级解决方案的能力。
四、精密机械与结构件
7、富创精密 ：
国内半导体设备精密零部件的绝对龙头，产品覆盖工艺零部件、模组和气体管路，已进入海外巨头供应链，技术能力已获国际认证，是平台型核心部件商。
8、新莱应材 ：
国内高纯应用材料领先企业，产品包括真空腔体、泵、阀、管道等，直接满足光刻机对超高真空和超洁净环境的严苛要求。
五、关键环境保障与控制系统
9、同飞股份 ：
工业温控设备领军企业，光刻机需要24/7持续运行的恒温环境以维持纳米级精度，其精密温控系统是设备稳定运行的基础保障。
10、美埃科技 ：
高端洁净室供应商，主营业务是为半导体厂房提供空气净化产品和服务，为光刻机的运行提供必须的超净环境，是厂务端的核心支撑。
六、资本与产业生态支持
11、上海电气 ：
作为中国最大的综合性装备制造企业之一，旗下拥有多家精密制造企业，其强大的高端装备制造能力与产业集群，为光刻机的研发和制造提供潜在的生态支持。
七、材料与潜在突破点
12、晶方科技 ：
全球领先的半导体封装技术服务商，其掌握的晶圆级封装技术、硅通孔（TSV）技术等属于先进微纳加工工艺，与光刻技术协同性强，是产业链上的重要技术节点。
