ASML称中国早已研发国产光刻机,中科院成功研发DUV光源技术 能生产3nm。 产能提不上去,只要是多倍曝光以后,良率一直提不上去,这个问题一直得不到解决,这也是为什么三星,台积电在10nm制程的时候,就采用EUV的原因,现在中芯靠多次曝光实现了N+2 10nm的制程,付出的代价就是良率提不上来,也就是说除非国产光刻机能突破,否则在10nm及以下工艺,很难做大突破,良率导致产能受限。低端(成熟的28纳米)芯片早已占了三分之一的市场,中端(7纳米左右)的就比较少了,好像才5%左右,等技术可以大批量生产,对世界芯片格局将是一场惊喜(对他们来说就是场灾难)。 主要是7NM的产线设备禁运要解决纯国产产链需要时间,目前产能太小了,需要个爬坡的时间。
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